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Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion

Punktuelle Luftentfeuchtung für jeden Verarbeitungsschritt

Viele Verarbeitungsprozesse in der Produktion von Elektronikbauteilen und Halbleitern erfordern eine extrem trockene Luft – teilweise mit Taupunkten von weit unter 0 °C. Diese niedrigen Taupunkte können sehr gut mit leistungsstarken Adsorptionstrocknern erreicht werden, auch punktuell innerhalb einer Maschine.

Viele elektronische und elektromechanische Bauelemente reagieren hochempfindlich auf Feuchtigkeit. Bei zu hoher Luftfeuchtigkeit kann es in der Elektronik- und Halbleiterproduktion zu Problemen kommen wie Korrosion an den Leitungspunkten und Kondensation auf der Oberfläche von Mikrochips. Zudem sind einige chemische Stoffe sehr störanfällig: So kann zu hohe Luftfeuchtigkeit zu schlechter Haftung von Fotolacken führen, die wiederum zu Betriebsstörungen der Halbleiterbaugruppe führt. Viele dieser Prozesse müssen gezielt lokal und unabhängig von der Raumluft entfeuchtet werden. Mit den Adsorptionstrocknern der TTR-Serie sind punktuelle Entfeuchtungen realisierbar – u. a. auch durch gezieltes Zuführen von trockener Luft über Schläuche.

Prozessklimatisierung mit Adsorptionstrocknern wirtschaftlich umsetzen

Die stationären und mobilen Adsorptionstrockner der TTR-Serie sorgen jeweils durch eine der drei Varianten des TTR-Funktionsprinzips für eine hohe Entfeuchtungsleistung bei gleichzeitig niedrigem Energieverbrauch. Für die punktuelle Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eignen sich die mobilen Adsorptionstrockner TTR 400 D und TTR 500 D besonders gut. Zudem ist es möglich, mit unseren Montagezelten in Kombinationen mit Luftentfeuchtern geschlossene Klimazonen zu realisieren. Für die Prozessklimatisierung in größeren Räumen oder Fertigungsstraßen, in denen niedrige Taupunkte erreicht werden müssen, empfehlen wir Ihnen die stationären Adsorptionstrockner mit den Modellnummern TTR 800 bis 13500.     

TTR 400 D und TTR 500 D erreichen extrem niedrige Taupunkte

Die beiden innovativen Adsorptionstrockner mit dem Kennzeichen „D“ für Duoventic-Luftmengenregulierung, TTR 400 D und TTR 500 D, erreichen die größtmögliche Flexibilität bei der Einstellung der erforderlichen Trockenluftmenge. Im Gegensatz zum konventionellen Durchluftbetrieb können mit diesen beiden mobilen Adsorptionstrocknern bis zu 30 °C tiefere Taupunkttemperaturen gegenüber der angesaugten Prozessluft erreicht werden. Dadurch lassen sich Taupunkte auch weit unter 0 °C und somit wesentlich tiefere Trocknungszustände sowie ein deutlich energieeffizienterer Betrieb erreichen! Niedrige Taupunkte im Minusbereich sind beispielsweise beim Zwischenlagern von elektronischen Bauteilen in Trockenschränken erforderlich, bevor sie weiteren Produktionsprozessen zugeführt werden können. Ein anderes Beispiel, bei dem extrem niedrige Taupunkte von weit unter -40 °C erreicht werden müssen, sind QS-Prüfstände in der Produktion von Hochleistungshalbleitern (IGBTs). Diese dürfen trotz der hohen Minusgrade nicht vereisen, was nur durch extreme Luftentfeuchtung gelingt.

Beratung und mobile Testgeräte: Nutzen Sie unseren Industrie-Service

Die Trotec Group liefert Ihnen als Elektronik- und Halbleiterhersteller nicht einfach nur Geräte, sondern technisch und wirtschaftlich optimale Lösungen. Unser Industrie-Service kann sich – je nach Auftragsumfang – auf die Gesamtkonzeption der Prozessklimatisierung beziehen oder auf Teilbereiche. Zudem stellen wir Ihnen mobile Einheiten zur Verfügung, mit denen die geplante Prozessklimatisierung vorab getestet werden kann. So können Sie sicher sein, dass die geplante Lösung funktioniert.

Weitere Lösungen für die Elektronik- und Halbleiterindustrie

TKL – Trotec Rental Division

Zur Sicherung Ihrer Rentabilität bei Maschinenausfall oder temporären Bedarfsspitzen steht Ihnen TKL, Trotec Rental Division und Europas führender Gerätevermieter, mit mehr als 10.000 Mietgeräten und schnellem 24-h-Lieferservice zur Seite. Mieten Sie zum Beispiel:

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Auf Wunsch produzieren wir auch maßgeschneiderte Adsorptionsluftentfeuchter als Sonderausführung

Gerne produzieren wir auf Wunsch auch maßgeschneiderte Adsorptionsluftentfeuchter als perfekt auf Ihren Bedarf abgestimmte Sonderausführung „made in Germany“, zum Beispiel:

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