Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion
Punktuelle Luftentfeuchtung für jeden Verarbeitungsschritt
Prozessklimatisierung mit Adsorptionstrocknern wirtschaftlich umsetzen
Viele Verarbeitungsprozesse in der Produktion von Elektronikbauteilen und Halbleitern erfordern eine extrem trockene Luft – teilweise mit Taupunkten von weit unter 0 °C. Diese niedrigen Taupunkte können sehr gut mit leistungsstarken Adsorptionstrocknern erreicht werden, auch punktuell innerhalb einer Maschine.
Viele elektronische und elektromechanische Bauelemente reagieren hochempfindlich auf Feuchtigkeit. Bei zu hoher Luftfeuchtigkeit kann es in der Elektronik- und Halbleiterproduktion zu Problemen kommen wie Korrosion an den Leitungspunkten und Kondensation auf der Oberfläche von Mikrochips. Zudem sind einige chemische Stoffe sehr störanfällig: So kann zu hohe Luftfeuchtigkeit zu schlechter Haftung von Fotolacken führen, die wiederum zu Betriebsstörungen der Halbleiterbaugruppe führt. Viele dieser Prozesse müssen gezielt lokal und unabhängig von der Raumluft entfeuchtet werden. Mit den Adsorptionstrocknern der TTR-Serie sind punktuelle Entfeuchtungen realisierbar – u. a. auch durch gezieltes Zuführen von trockener Luft über Schläuche.
Die stationären und mobilen Adsorptionstrockner der TTR-Serie sorgen jeweils durch eine der drei Varianten des TTR-Funktionsprinzips für eine hohe Entfeuchtungsleistung bei gleichzeitig niedrigem Energieverbrauch. Für die punktuelle Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eignen sich die mobilen Adsorptionstrockner TTR 400 D und TTR 500 D besonders gut. Zudem ist es möglich, mit unseren Montagezelten in Kombinationen mit Luftentfeuchtern geschlossene Klimazonen zu realisieren. Für die Prozessklimatisierung in größeren Räumen oder Fertigungsstraßen, in denen niedrige Taupunkte erreicht werden müssen, empfehlen wir Ihnen die stationären Adsorptionstrockner mit den Modellnummern TTR 800 bis 13500.
TTR 400 D und TTR 500 D erreichen extrem niedrige Taupunkte
Die beiden innovativen Adsorptionstrockner mit dem Kennzeichen „D“ für Duoventic-Luftmengenregulierung, TTR 400 D und TTR 500 D, erreichen die größtmögliche Flexibilität bei der Einstellung der erforderlichen Trockenluftmenge. Im Gegensatz zum konventionellen Durchluftbetrieb können mit diesen beiden mobilen Adsorptionstrocknern bis zu 30 °C tiefere Taupunkttemperaturen gegenüber der angesaugten Prozessluft erreicht werden. Dadurch lassen sich Taupunkte auch weit unter 0 °C und somit wesentlich tiefere Trocknungszustände sowie ein deutlich energieeffizienterer Betrieb erreichen! Niedrige Taupunkte im Minusbereich sind beispielsweise beim Zwischenlagern von elektronischen Bauteilen in Trockenschränken erforderlich, bevor sie weiteren Produktionsprozessen zugeführt werden können. Ein anderes Beispiel, bei dem extrem niedrige Taupunkte von weit unter -40 °C erreicht werden müssen, sind QS-Prüfstände in der Produktion von Hochleistungshalbleitern (IGBTs). Diese dürfen trotz der hohen Minusgrade nicht vereisen, was nur durch extreme Luftentfeuchtung gelingt.
Weitere Lösungen
Nutzen Sie unseren Best-Practice-Industrieservice
Weil jeder Industriebetrieb charakteristische Prozessabläufe, Anlagen und Räumlichkeiten hat, erfordert auch jede Luftbehandlungslösung eine fallspezifische Gerätekonfiguration. In der Summe lassen sich die kombinierten Auswirkungen von Luftströmen, Luftfeuchtigkeitsverhältnissen und Temperaturschwankungen auf rein theoretischer Basis oft nur schwer berechnen, beispielsweise in Schleusenbereichen oder auf Förderwegen. Die Folge: Unnötige zusätzliche Kosten durch zu hoch berechneten Bedarf oder – noch schlimmer – in der Praxis nicht ausreichend funktionierende Lösungen.
Mit unseren Experten können Sie rechnen
Um den Bedarf in der Industrie exakt zu berechnen und maßgeschneiderte Konzepte für die Klimakonditionierung zu entwickeln, braucht man erfahrene Klimaspezialisten. Vertrauen Sie unserem Expertenteam und den Dienstleistungen des Industrie-Services: Wir analysieren gemeinsam mit Ihnen vor Ort die individuelle Bedarfssituation, ermitteln den spezifischen Gerätebedarf und erarbeiten eine maßgeschneiderte Projektlösung bis hin zur genauen Platzierung der Geräte.
Unsere Industrieberater informieren Sie auch gerne persönlich unter Tel. +49 2452 962-777 über unseren Best-Practice-Industrieservice. Oder Sie stellen einfach direkt eine Anfrage mit Ihrem persönlichen Bedarf an unsere Industrieexperten. Wir antworten prompt!
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Luftentfeuchter bei der Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion
Serienausstattung
optional erhältlich
nicht verfügbar
